净化车间的洁净度级别通常分为：百级、千级、万级、十万级和三十万级。十万级净化车间一般适用于电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻和微机制造等行业中。十万级净化车间的要求不仅仅是需要空气洁净度为十万级，还需要保证能达到除静电的效果。在十万级净化车间中，尘粒1大允许数≥0.5微米的粒子数不允许超过350万个；换气次数：10-15次/小时；压差：主车间相对相邻房间≥5pa；温度：冬季＞16℃±2℃；夏季小于26℃±2℃；相对湿度：45-65%（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20%-30%；照度大于等于300Lux。
车间净化主要是将一定空间范围内的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、压差、气流速度、噪音、照明、等控制在一定范围内，用以保证产品可以在稳定良好的环境下生产。当然是否需要做净化主要取决于工厂生产的产品的类型，洁净车间施工，工艺要求。根据区域环境、净化程度等因素，净化车间可为若干等级。一般来说，丽水洁净车间，数值越小，代表净化级别越高。即百级>千级>万级>十万级>三十万级。不论是哪个级别的净化一般要经过初效过滤、中效过滤、高效过滤三个过滤段。净化过程从气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 ，重复这样的一系列过程，即可达到净化目的。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
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